EFEM・Sorter
P-EFEM・P-Sorter
EFEM・Sorter
P-EFEM
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设备规格
| 型号 | TYK2102-2 | TYK2102-3 |
|---|---|---|
| 端口数 | 2个端口 | 3个端口 |
| 运输对象 | 300mm晶圆 直径：Φ300±0.2mm 厚度：775μm | |
| 作业模式 | 300mm FOUP 25步(SEMI E47.1) 300mm FOSB 25步(SEMI M31) |
|
| 电源电压 | 单相 AC200V ± 10% 50 / 60Hz ± 5% | |
| 消耗电流 | 包括 4kVA (20A / 200VAC) FFU | |
| 真空（原压） | -80kPa～-90kPa | |
| 真空（流量） | 40L/min | 50L/min |
| 正压（原压） | 0.6MPa～0.7MPa | |
| 正压（流量） | 20L/min | 30L/min |
| EMO触点输出 | 2系统（干燥触点） | |
| 互锁 | 输入8点/输出8点（绝缘I/O） | |
概述
配备高性能交流伺服电机，以足够的负载能力实现高速运输。可以适当放置机器人、装载端口和机械手臂。继承了在恶劣环境中运行20多年的机器人技术。
特征
- 可以安装一个或两个对准器，实现高效率运行
- 各种变化规格，自定义支持
- 200mm/300mm均可使用