圆柱坐标洁净机械手臂 PHT-R-4
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产品特点
本产品是用于洁净室的水平多关节机器人。
可进行前后（X轴）、旋转（θ轴）、上下（Z轴）+ 手动旋转（0～180°）操作，支持大气中的晶圆转移。 驱动电机为交流伺服电机，所有轴均采用绝对编码器规格。
产品概要
| 型号名称 | PHT-R-4 |
|---|---|
| 安装环境 | 无尘室内大气环境、温度：10℃～35℃、湿度：70%RH以下 |
| 手臂 | 单臂 材质：铝、CFRP、陶瓷 |
| 作业范围 | X轴：500mm θ轴：340度 Z轴：300mm 手转：0～180° |
| 运行速度（最快） | X轴：500mm/sec θ轴：200deg/sec Z轴：250mm/sec 手动旋转：180deg/sec |
| 有效载荷 | 3kg (hand base·hand·total work weight) |
机械手臂标准规格
| 机械手臂型号 | PHT-R-4-2022 |
|---|---|
| 被搬送物 | ～300mm晶圆 （我们还可以灵活定制其他特殊工件、形状和材料。） |
| 晶圆吸附方式 | 真空吸附/边缘夹持/边缘保持 |
| 机械结构格式 | 水平多关节型 圆柱坐标系 |
| 控制轴 | 4轴 |
| 电机类型 | 交流伺服电机 绝对编码器规格 |
| 重量 | 本体重量：约47Kg 控制器：约8Kg |
| 控制电缆 | 3m（标准）、5m、10m |
| 控制规格 (1) | 并行接口 32点输入 32点输出 |
| 控制规格 (2) | 串行接口 RS-232C x 1线 |
| 重复性精度 | ±0.1mm以内 |
| 洁净度 | ISO标准 Class 2级（0.1 μm以上，10个/m³以下） |
| 厂务 | 额定电压：单相AC200-230V±10% 额定电流：5A 真空：-80kPa以下10NL/min以上 |
| 控制器规格 | |
| 控制器型号 | MFD |
| 控制通讯方式 | RS232C 1线 数字IO输入：32点，DC24V 8mA 输出：32点，DC24V±3V 0.1A以下 |
外观图（标准规格）
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