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晶圆搬运机械手
单臂 PRAA1系列
单臂(带翻转)PRAA3系列
双臂 PRAD1系列
双臂(带上翻转)PRAD2系列
单臂(防水雾)AWP
晶圆搬运系统
EFEM前端模块 PHE120
EFEM前端模块 PHE220
EFEM前端模块 PHE320
晶圆倒片机 PHD220
菲科优势
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总经理致辞
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公司历史
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公司历史
1980年代
半导体进化 - Personal Computer
开发了自动组装机・检测机・阴极射线管电子枪制造设备、半导体激光打标设备等。
1981年
电子微波炉用
磁控全自动组装机
1982年
新闻报纸用
感光树脂版全自动高速制版设备
1983年
热继电器用
自动装配检测设备
1984年
阴极射线管用
反激式自动绕线装置供/卸料机器人系统
1985年
显像管电子枪用
平行自动串珠装置
1986年
显像管电子枪用
电极元件激光自动焊接设备
1987年
半导体封装用
激光打标装置
1988年
半导体EP-ROM用
全自动书写机器人系统
1989年
半导体封装用
自动切割・成型・激光打标设备
1990年
磁光盘用
感光树脂自动旋涂机
1990年代
半导体进化 - Mobile Phone
开发了阴极射线管电子枪制造设备・半导体激光打标设备・液晶制造设备等。
1991年
半导体晶圆用
激光打标装置
1992年
半导体用
晶圆自动包装机
1993年
半导体引线框架用
自动视觉检测设备
1994年
半导体晶圆用
晶圆自动剥离设备
1995年
显像管电子枪用
全自动串珠装置
1996年
显像管电子枪用
S型环&带状激光自动焊接设备
1997年
显像管电子枪用
数显式自动串珠装置
1998年
显像管电子枪用
SC&BSC激光自动焊接设备
1999年
化学品用
瓶容器热封装置
2000年
液晶显示用
贴附偏光板前清洗装置
2000年代
半导体进化 - Digital Consumer Electronics
除了半导体制造设备和液晶制造设备,还开发了太阳能电池相关设备。
2001年
液晶显示用
LCD卡槽替换装置
2002年
液晶显示用
液晶板储料器装置
2003年
半导体晶圆用
条码标签贴附装置
2004年
液晶显示用
液晶基板自动树脂涂布装置
2005年
硬盘用
磨砂清洗装置
2006年
液晶显示用
LCD电池盒自动传输系统
2007年
液晶显示用
偏光板贴合装置
2008年
半导体晶圆用
单片式晶圆搬运设备
2009年
液晶显示用
一次照明检测自动传输系统
2010年
液晶显示用
LCD电池盒自动传输系统
2010年代
半导体进化 - Big Data
除了半导体制造设备,还开发了太阳能电池板和LED相关设备。
2011年
喷墨打印机用
打印头清洗装置前传送机器人(OEM)
2012年
12英寸晶圆用
单片式晶圆搬运设备
2013年
LT用玻璃
蓝宝石晶圆双面磨砂清洗设备
2014年
18英寸晶圆用
单片式晶圆搬运设备
2015年
外科手套
针孔检测装置
2016年
树脂镜片用
Hardcourt液体旋涂机系统
2017年
新能源汽车用
电池自动化组装设备
2018年
8英寸晶圆用
线锯后晶圆自动剥离装置(Demounter)
2019年
12英寸晶圆用
线锯后晶圆自动剥离装置(Demounter)
2020年
12英寸晶圆用
线锯后晶圆自动剥离装置(Demounter)
2020年代
半导体进化 - 5G Mobility
除了Si・SiC・GaN等半导体制造设备外,还开发了与EV汽车相关的设备。
2021年
18英寸晶圆用
晶圆搬运设备(苏州工厂)
2022年
12英寸晶圆用
晶圆前端模块EFEM(苏州工厂)