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晶圆搬运机械手
单臂 PRAA1系列
单臂(带翻转)PRAA3系列
双臂 PRAD1系列
双臂(带上翻转)PRAD2系列
单臂(防水雾)AWP
晶圆搬运系统
EFEM前端模块 PHE120
EFEM前端模块 PHE220
EFEM前端模块 PHE320
晶圆倒片机 PHD220
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执行董事
黄清敏
,男,现任菲科半导体(张家港)有限公司CEO,拥有12年日本企业并购及技术转化经验,毕业于名古屋大学环境科学研究科,获硕士学位,日本药科大学药学研究科,获博士学位。
董事
黄秀松
,男,现任清科微电科技有限公司CTO,2021年被评为深圳市高层次人才,毕业于清华大学机械工程系,获工学博士学位。
监事
刘福超
,男,现任清科微电科技有限公司CFO,特许金融分析师(CFA),毕业于清华大学,获工学硕士学位,完成包括国家自然科学基金等材料加工类项目多项,曾就职于世界200强企业从事投资规划工作5年,具有中国证券从业资格证书。
技术顾问
SEGAWA OSAMU
,男,就职于PHT株式会社,42年半导体设备从业经验,毕业于日本大阪府立大学(旧称:大阪府立工业高等专门学校)机械工学科毕业。
HASHITSUMEI TATSUHITO
,男,就职于PHT株式会社,20年半导体设备从业经验,毕业于日本北海道工业大学机械工学科。