产品信息

晶圆搬运机械手

单臂 PRAA1系列
  • 适用于300mm及以下尺寸晶圆传输
  • 可实现末端自由轨迹和斜插功能
  • 完全自主知识产权，可客制化订制
单臂（带翻转）PRAA3系列
  • 适用于300mm及以下尺寸晶圆传输
  • 可实现末端自由轨迹和斜插功能
  • 完全自主知识产权，可客制化订制
双臂 PRAD1系列
  • 适用于300mm及以下尺寸晶圆传输
  • 可实现末端自由轨迹和斜插功能
  • 完全自主知识产权，可客制化订制
双臂（带上翻转）PRAD2系列
  • 适用于300mm及以下尺寸晶圆传输
  • 可实现末端自由轨迹和斜插功能
  • 完全自主知识产权，可客制化订制
单臂（防水雾）PRAWP
  • 适用于300mm及以下尺寸晶圆传输
  • 可实现末端自由轨迹和斜插功能
  • 完全自主知识产权，可客制化订制

EFEM 系列

EFEM前端模块 PHE120
  • 完全自主知识产权
  • 多种上料方式兼容
  • 标准化应用软件
  • 安全高效传输
  • SECS/GEM通讯
  • 深度客制化订制
  • 可处理薄晶圆
EFEM前端模块 PHE220
  • 完全自主知识产权
  • 多种上料方式兼容
  • 标准化应用软件
  • 安全高效传输
  • SECS/GEM通讯
  • 深度客制化订制
  • 可处理薄晶圆
EFEM前端模块 PHE320
  • 完全自主知识产权
  • 多种上料方式兼容
  • 标准化应用软件
  • 安全高效传输
  • SECS/GEM通讯
  • 深度客制化订制
  • 可处理薄晶圆
晶圆倒片机 PHD220
  • 完全自主知识产权
  • 多种上料方式兼容
  • 标准化应用软件
  • 安全高效传输
  • SECS/GEM通讯
  • 深度客制化订制
  • 可处理薄晶圆

晶圆清洗解决方案

槽式清洗机 SCC-250
  • 研磨后清洗：用于去除研磨磨粒（主要采用碱+界面清洗）
  • 碱性腐蚀清洗：用于去除研磨后加工形变等
  • 热处理前清洗：主要采用RCA清洗，依照客户工艺线路定制设备
  • 热处理后清洗：主要采用RCA清洗，依照客户工艺线路定制设备
  • 抛光后清洗：RCA清洗（DHF/SC-1/SC-2/O3处理）
  • 最终清洗：RCA清洗（DHF/SC-1/SC-2/O3处理）
晶圆剥离清洗机 PWD2020
  • 传送机构均由自主技术完成
  • 低运行成本
  • 可追加GEM标准通信
  • 可追加OHT（天车）搬运
  • 可追加Barcode或RFID读取功能
  • 可根据客户使用的台车或治具等定制相应配置

晶圆搬运解决方案

晶圆盒转换系统 PCT2022
该设备是将200mm・300mm贴附在铁环上的晶圆，用标准晶圆盒替换存储在其他指定片盒中的自动传送系统。使用的晶圆盒有6片或13片装。
晶圆搬运系统 PWT2020
  • 节省空间
  • 防静电型
  • 使用光电和机械传感器监控误操作
  • 配备测绘传感器
  • 兼容FOUP、金属片盒等
  • 可应用在Class 10级无尘室