产品信息

晶圆搬运机械手

单臂 PRAA1系列
  • 适用于300mm及以下尺寸晶圆传输
  • 可实现末端自由轨迹和斜插功能
  • 完全自主知识产权，可客制化订制
单臂（带翻转）PRAA3系列
  • 适用于300mm及以下尺寸晶圆传输
  • 可实现末端自由轨迹和斜插功能
  • 完全自主知识产权，可客制化订制
双臂 PRAD1系列
  • 适用于300mm及以下尺寸晶圆传输
  • 可实现末端自由轨迹和斜插功能
  • 完全自主知识产权，可客制化订制
双臂（带上翻转）PRAD2系列
  • 适用于300mm及以下尺寸晶圆传输
  • 可实现末端自由轨迹和斜插功能
  • 完全自主知识产权，可客制化订制
单臂（防水雾）PRAWP
  • 适用于300mm及以下尺寸晶圆传输
  • 可实现末端自由轨迹和斜插功能
  • 完全自主知识产权，可客制化订制

晶圆搬运系统

EFEM前端模块 PHE120
  • 完全自主知识产权
  • 多种上料方式兼容
  • 标准化应用软件
  • 安全高效传输
  • SECS/GEM通讯
  • 深度客制化订制
  • 可处理薄晶圆
EFEM前端模块 PHE220
  • 完全自主知识产权
  • 多种上料方式兼容
  • 标准化应用软件
  • 安全高效传输
  • SECS/GEM通讯
  • 深度客制化订制
  • 可处理薄晶圆
EFEM前端模块 PHE320
  • 完全自主知识产权
  • 多种上料方式兼容
  • 标准化应用软件
  • 安全高效传输
  • SECS/GEM通讯
  • 深度客制化订制
  • 可处理薄晶圆
晶圆倒片机 PHD220
  • 完全自主知识产权
  • 多种上料方式兼容
  • 标准化应用软件
  • 安全高效传输
  • SECS/GEM通讯
  • 深度客制化订制
  • 可处理薄晶圆