晶圆盒转换设备
晶圆盒转换设备 PCT2022
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设备规格
加工材料
1．切块框
尺寸
200mm・300mm
厚度
1.22 ± 0.08mm
翘曲
0.25mm以下
可接触范围
背面
2．晶圆盒
标准卡盒
6片盒・13片盒
框架存储间距
15mm
3．运行时效
节拍时间・运输时间
180秒／13片以内
概述
该设备是一种用标准晶圆盒替换存储在指定盒中的200mm・300mm切割框架的系统。
使用的晶圆盒有、6片盒・13片盒。每个晶圆盒都由操作员提供给站台。