技术规格

参数 PHE320
晶圆尺寸 8"-12" 以及兼容机型可订制
装载端口数量 标准 Load Port×3 或其他装载形式可订制
晶圆传输 单臂 / 双臂晶圆传输机械手
晶圆拾取方式 真空、伯努利、夹持或其他结构可订制
晶圆对准 标准晶圆巡边器
晶圆 ID 读取 单面 / 双面晶圆 ID 专用读码器
SECS/GEM 通讯 支持标准 SECS/GEM 或简易联网
洁净度 多种等级可订制，最高可达
电源规格 单相 AC220V±10% 50HZ 10A
气源规格 正压：0.5-0.7Mpa 洁净干燥压缩空气
负压：优于 -60kpa
产量 ≥180（含 OCR including OCR）
设备尺寸 2100×1200×2000mm (L×W×H)
重量 ≈750kg