技术规格

参数 PRAWP
机械手臂类型 单臂（防水雾）
被搬运物 ≤300mm
晶圆吸附方式 真空吸附式、伯努利式、夹持式、复合式
机械结构格式 水平多关节
控制轴 3
电机类型 AC伺服电机
可动范围 中心到达距离 旋转角度θ轴 升降Z轴
703mm 340° 260/300mm
搬运平均速度 R轴 θ轴 Z轴
500mm/s 180°/s 200mm/s
搬运最大速度 R轴 θ轴 Z轴
1200mm/s 300°/s 250mm/s
重复性精度 ±0.1mm以内
控制通讯方式 RS232/RS485/TCP/IP
洁净度 ISO 标准 Class1（驱动结构内部独立排气条件下）
厂务 电源 AC220V 2A，真空 优于 -53Kpa
重量 ≈40Kg
※1 盲区位置可按需调整