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    • 晶圆搬运机械手

      1. 单臂 PRAA1系列
      2. 单臂(带翻转)PRAA3系列
      3. 双臂 PRAD1系列
      4. 双臂(带上翻转)PRAD2系列
      5. 单臂(防水雾)AWP
    • EFEM 系列

      1. EFEM前端模块 PHE120
      2. EFEM前端模块 PHE220
      3. EFEM前端模块 PHE320
      4. 晶圆倒片机 PHD220
    • 晶圆搬运解决方案

      1. 晶圆盒转换系统
      2. 晶圆搬运系统
    • 晶圆清洗解决方案

      1. 槽式清洗机
      2. 晶圆剥离清洗机
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